10Pa 真空窒素乾燥金属焼入れ炉 工業用ボックス型 7kW

真空窒素オーブン

高純度、酸化防止熱処理の究極のソリューション

真空窒素オーブンは、超クリーンで不活性な処理環境を作り出すための2つの最も効果的な方法を組み合わせたものです。まず、空気と水分を強制的に除去するための真空サイクルを行い、次に高純度窒素を充填して、熱サイクル用の清浄で酸素を含まない雰囲気を作り出します。この2段階のプロセスは、最もデリケートな材料を扱うためのゴールドスタンダードです。

主な用途:

• 高度な半導体パッケージング: ウェーハレベルパッケージング（WLP）、3D ICアセンブリの水分除去および硬化プロセス、および露出した銅ピラーまたは相互接続の酸化防止。

• MXene、グラフェン、2D材料の乾燥: これらの非常に空気感受性の高いナノ材料の再スタッキングと酸化を防ぎ、電気的特性を維持します。

• ハイエンド粉末冶金＆MIM: 焼結前の金属射出成形（MIM）「ブラウン」部品の乾燥と硬化、バインダーの酸化を排除し、表面純度を確保します。

• 航空宇宙および軍事部品の準備: ジャイロスコープや慣性航法システムなどの重要な部品の乾燥と脱ガスを行い、真空または密閉環境での長期的な信頼性を確保します。

主な利点と特徴:

1. 2段階の純度保証: このプロセスは、まず 真空サイクル から始まり、チャンバーと製品の表面および細孔から空気、水分、揮発性汚染物質を積極的に除去します。次に 乾燥窒素の充填を行い、加熱段階のための酸素と水分のない環境を保証します。

2. デリケートな材料に対する優れた水分除去: 真空乾燥は、特に多孔質構造、微粉末、または複雑な形状から、深く閉じ込められた、または吸着された水分を除去するために、パージだけよりもはるかに効果的です。これは、その後の高温プロセスでの欠陥を防ぐために重要です。

3. 効率的なガス使用と安全性向上: 最初に真空で空気の大部分を除去することにより、超低酸素環境を実現するために必要な高純度窒素の量が大幅に削減されます。これにより、運用コストが大幅に削減されます。真空ステップはまた、可燃性溶剤蒸気を安全に除去します。

4. 粉末中のマイクロ爆発の防止: 微細で凝集性の粉末の場合、真空乾燥は、標準的なオーブンで閉じ込められた水分が急速に蒸発して発生する可能性のある「バンプ」または「マイクロ爆発」を防ぎ、粉末床を流動化させて台無しにする可能性があります。

5. プロセスの汎用性と再現性: このシステムは、真空保持、窒素再充填、加熱、冷却サイクルを含む、完全にプログラム可能な多段階レシピを可能にします。これにより、複雑で価値の高い製造およびR&Dプロセスに対して、比類のない制御と再現性が提供されます。