10Pa Vakuum-Stickstoff-Trocknungs-Metall-Anlassofen Industrie-Box-Typ 7kW

Vakuum-Stickstoffofen

Die ultimative Lösung für hochreine, oxidationsfreie thermische Verarbeitung

Ein Vakuum-Stickstoffofen kombiniert die beiden effektivsten Methoden zur Schaffung einer ultrareinen, inerten Verarbeitungsumgebung: Erstens ein Vakuumzyklus zur gewaltsamen Entfernung von Luft und Feuchtigkeit; zweitens das Befüllen mit hochreinem Stickstoff, um eine makellose, sauerstofffreie Atmosphäre für den thermischen Zyklus zu schaffen. Dieser zweistufige Prozess ist der Goldstandard für die Handhabung der empfindlichsten Materialien.

Hauptanwendungen:

• Fortschrittliche Halbleiterverpackung: Entfernung von Feuchtigkeit und Härtungsprozesse für Wafer-Level-Packaging (WLP), 3D-IC-Montage und zur Verhinderung der Oxidation von freiliegenden Kupfersäulen oder Verbindungen.

• MXen, Graphen & 2D-Materialtrocknung: Verhindert die Restrukturierung und Oxidation dieser hoch luftempfindlichen Nanomaterialien und bewahrt deren elektrische Eigenschaften.

• Hochwertige Pulvermetallurgie & MIM: Trocknung und Härtung von metallgespritzten (MIM) "braunen" Teilen vor dem Sintern, wodurch die Oxidation des Bindemittels verhindert und die Oberflächenreinheit gewährleistet wird.

• Vorbereitung von Luft- und Raumfahrt- und Militärkomponenten: Trocknung und Ausgasung kritischer Komponenten wie Gyroskope und Trägheitsnavigationssysteme, um die langfristige Zuverlässigkeit in Vakuum- oder versiegelten Umgebungen zu gewährleisten.

Hauptvorteile & Merkmale:

1. Zweistufige Reinheitsgewährleistung: Der Prozess beginnt mit einem Vakuumzyklus zur aggressiven Evakuierung von Luft, Feuchtigkeit und flüchtigen Verunreinigungen aus der Kammer und der Oberfläche und den Poren des Produkts. Darauf folgt Befüllen mit trockenem Stickstoff, wodurch eine garantierte sauerstoff- und feuchtigkeitsfreie Umgebung für die Heizphase geschaffen wird.

2. Überlegene Feuchtigkeitsentfernung für empfindliche Materialien: Die Vakuumtrocknung ist deutlich effektiver als das reine Spülen zur Entfernung von tief eingeschlossener oder adsorbierter Feuchtigkeit, insbesondere aus porösen Strukturen, feinen Pulvern oder komplexen Geometrien. Dies ist entscheidend, um Defekte in nachfolgenden Hochtemperaturprozessen zu vermeiden.

3. Effizienter Gasverbrauch & erhöhte Sicherheit: Durch die Entfernung des Großteils der Luft zuerst durch Vakuum wird die Menge an hochreinem Stickstoff, die zur Erzielung einer extrem niedrigen Sauerstoffumgebung benötigt wird, drastisch reduziert. Dies führt zu erheblichen Betriebskosteneinsparungen. Der Vakuumschritt entfernt auch sicher brennbare Lösungsmitteldämpfe.

4. Verhinderung von Mikroexplosionen in Pulvern: Bei feinen, kohäsiven Pulvern verhindert die Vakuumtrocknung das "Bumping" oder "Mikroexplosionen", die auftreten können, wenn eingeschlossene Feuchtigkeit in einem Standardofen schnell verdampft, was das Pulverbett verflüssigen und zerstören kann.

5. Prozessvielseitigkeit und Wiederholbarkeit: Das System ermöglicht voll programmierbare Mehrschrittrezepte, einschließlich Vakuumhalten, Stickstoffnachfüllen, Heiz- und Kühlzyklen. Dies bietet beispiellose Kontrolle und Wiederholbarkeit für komplexe, hochwertige Fertigungs- und F&E-Prozesse.