BF530-15 1500C アルミナセラミック基板脱脂焼成ベル型炉

アルミナセラミック基板の脱バインダー・焼結用Tailordベル型炉

（最大1500℃、空気雰囲気）

寸法安定性、高純度、優れた電気的性能を実現する精密熱処理

高品質のアルミナ（Al₂O₃）セラミック基板の製造には、平坦性、高密度、優れた電気的完全性を保証する熱処理が必要です。Tailordの1500℃空気雰囲気ベル型炉は、この課題に対応するために専門的に設計されており、重要な脱バインダーと高温焼結の段階をシームレスに統合しています。その独自の垂直設計は、比類のない組み合わせを提供します。穏やかな取り扱い、優れた温度均一性、クリーンな空気環境であり、パワーエレクトロニクスおよび自動車産業における厚膜および直接接合銅（DBC）用途向けの堅牢で高性能な基板を製造するための理想的なソリューションです。

主な特徴とプロセスの利点：

1. 完璧な平坦性（±3℃）を実現する比類のない温度均一性：ベル型炉の下降流、均一な熱分布により、大型のアルミナ基板でさえ、負荷全体にわたって優れた温度一貫性で焼結されます。これは、均一な収縮を実現し、反りや反りを防ぎ、その後の回路印刷および組み立てプロセスに必要な正確な寸法安定性を維持するために不可欠です。

2. 単一の保護サイクルでの脱バインダーと焼結の統合：この炉は、有機バインダーの低温焼成から最終的な高温緻密化まで、密閉されたベル内で1つの連続サイクルで完全な熱プロファイルを実行するように設計されています。これにより、壊れやすい「ブラウン」基板の中間的な取り扱いが不要になり、汚染、ひび割れ、破損のリスクが最小限に抑えられ、生産歩留まりを最大化を実現するために不可欠な、純粋で化学量論的なAl₂O₃微細構造の開発をサポートします。

3. 高純度アルミナのための最適化された空気雰囲気：クリーンな空気雰囲気での運転は、アルミナセラミックの焼結に最適です。炭素残留物なしで有機バインダーを完全に酸化的に除去し、高誘電強度と最適な熱伝導率を実現するために不可欠な、純粋で化学量論的なAl₂O₃微細構造の開発をサポートします。

4. マルチベース効率による高スループット：ベル型炉システムは、複数の固定ベースを利用しています。1つのバッチがベルの下で焼結されている間、他のバッチは同時にローディング、アンローディング、または冷却段階にあることができます。この分離されたプロセスフローは、生産性を劇的に向上させますであり、標準サイズの基板パネルのバッチ生産に最適です。

5. 穏やかで汚染のない処理：固定ベース設計により、デリケートな基板は熱サイクル全体を通して完全に乱されることがありません。重要なプロセス段階中に振動や物理的な動きがないため、マイクロクラックを防ぎ、清浄で粒子を含まない表面を確保します—高歩留まりの薄膜および厚膜メタライゼーションに不可欠です。

Tailordと提携する理由

• 保証された平坦性：要求の厳しいパワーエレクトロニクスモジュールに必要な優れた寸法安定性を実現します。

• 歩留まりと純度の最大化：統合された汚染のないプロセスにより、貴重な基板をハンドリングによる損傷や炭素汚染から保護します。

• 実績のある生産効率：マルチベースシステムは、バッチプロセスの品質とほぼ連続的な生産スループットの最適なバランスを提供します。

理想的な用途：厚膜回路、DBC（直接接合銅）基板、パワーモジュールベースプレート、およびさまざまな電子セラミック部品用のアルミナ（Al₂O₃）基板の脱バインダーと焼結。

電子システムの基盤を構築するためにTailordをお選びください。当社のベル型炉技術は、信頼性と性能の基準を定義するアルミナ基板の製造に不可欠な、制御された、均一で穏やかな熱環境を提供します。